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潔凈車間工程中不可缺少的重要指標(biāo)參數(shù)

1．潔凈度：潔凈車間潔凈度是潔凈室的基本的技術(shù)指標(biāo)，其單位是：?jiǎn)挝惑w積的空氣中粒徑不小于某一尺度的微粒個(gè)數(shù)。微電子行業(yè)對(duì)于潔凈度的要求，其次是光電子行業(yè)。

2．濕度：潔凈車間濕度也是基本的工作條件，幾乎所有的潔凈室對(duì)于濕度都有明確的要求。濕度過(guò)大會(huì)使許多物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而影響產(chǎn)品質(zhì)量，甚至使設(shè)備失效，產(chǎn)品報(bào)廢。濕度過(guò)低又會(huì)使許多物質(zhì)脫水變形，失去原有的功能。

壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。設(shè)計(jì)凈化系統(tǒng)組織的原則是相鄰二級(jí)過(guò)濾器的效率不能太接近，也不能相差太大。一般采用初效、中效、亞(或)三級(jí)過(guò)濾器。也可分四級(jí)，增加一級(jí)過(guò)濾器。凈化工程在設(shè)計(jì)時(shí)，無(wú)論是新建還是重新改造的凈化車間，都一定依照國(guó)家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范進(jìn)行。

現(xiàn)在我們國(guó)家的凈化工程已經(jīng)在朝著節(jié)能的方向發(fā)展了，除了專業(yè)人士以外，其他人很少知道凈化工程的耗能量特別大，時(shí)候普通寫(xiě)字樓的20倍，比美國(guó)更發(fā)達(dá)國(guó)家高出了15%?？吹竭@些令人心驚的數(shù)字，我們國(guó)家的科學(xué)家們從節(jié)能的角度出發(fā)從根本上出出發(fā)，設(shè)計(jì)出能夠節(jié)省的相關(guān)設(shè)備。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過(guò)25度。100級(jí)：是常用的凈化工程，除了對(duì)空氣中的塵埃數(shù)有要求，對(duì)空氣中細(xì)菌的濃度也有明確要求。一般用于醫(yī)行業(yè)進(jìn)行無(wú)菌制造，例如制造臨床用于植入人體內(nèi)的物品，藥生產(chǎn)。醫(yī)學(xué)科學(xué)實(shí)驗(yàn)也在此環(huán)境中，包括實(shí)驗(yàn)動(dòng)物飼養(yǎng)環(huán)境。